MKS 652 - przemyslowy kontroler cisnienia procesu
: środa 25 paź 2023, 11:34
Urzadzenia MKS 252, 652 oraz 651 sa przemyslowym standardem w zakresie sterowania cisnieniem w urzadzeniach prozniowych.
Mozna je spotkac w roznego rodzaju napylarkach, maszynach CVD, MOCVD wszedzie tam, gdzie potrzebna jest kontrola cisnienia w komorach do procesow przemyslowych.
W moje rece trafily 3 urzadzenia, 2 kompletnie zepsute i jedno pol-zywe.
Instrukcja Producenta: https://www.artisantg.com/info/MKS_Inst ... 145334.pdf
Z elektronicznego punktu widzenia, to stosunkowo proste urzadzenie:
1. Panel Przedni
- wlacznik
- kluczyk-przelacznik dwustanowy (Remote/Local)
- LCD 2x16 - prawdopodobnie HD44780
- sterowanie LCD 2 przyciski dol/gora i potencjometr (przegladanie ustawien urzadzenia)
- klawiatura 10 przyciskow
2. Panel Tylny:
- zlacze DB9 "Motor" - sterowanie zaworem motylkowym
- zlacze DB15 "Sensor" - zasilanie i odczyt czujnika cisnienia (MKS Baratron)
- zlacze DB25 "RS232" - komunikacja szeregowa
- zlacze DB25 "Interface" - sterowanie kilkoma funkcjami urzadzenia
Poniżej wrzuce kilka postow z diagnozowania problemow i prob naprawy moich MKS652.
Na plycie glownej widac, ze glowny procesor to Intel N80C186XL w socket.
Mozna je spotkac w roznego rodzaju napylarkach, maszynach CVD, MOCVD wszedzie tam, gdzie potrzebna jest kontrola cisnienia w komorach do procesow przemyslowych.
W moje rece trafily 3 urzadzenia, 2 kompletnie zepsute i jedno pol-zywe.
Instrukcja Producenta: https://www.artisantg.com/info/MKS_Inst ... 145334.pdf
Z elektronicznego punktu widzenia, to stosunkowo proste urzadzenie:
1. Panel Przedni
- wlacznik
- kluczyk-przelacznik dwustanowy (Remote/Local)
- LCD 2x16 - prawdopodobnie HD44780
- sterowanie LCD 2 przyciski dol/gora i potencjometr (przegladanie ustawien urzadzenia)
- klawiatura 10 przyciskow
2. Panel Tylny:
- zlacze DB9 "Motor" - sterowanie zaworem motylkowym
- zlacze DB15 "Sensor" - zasilanie i odczyt czujnika cisnienia (MKS Baratron)
- zlacze DB25 "RS232" - komunikacja szeregowa
- zlacze DB25 "Interface" - sterowanie kilkoma funkcjami urzadzenia
Poniżej wrzuce kilka postow z diagnozowania problemow i prob naprawy moich MKS652.
Na plycie glownej widac, ze glowny procesor to Intel N80C186XL w socket.